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M-2000® Ellipsometer
모든 Application에 적용 가능한 Ellipsometer. Rotating compensator 기술이 적용된 Ellipsometer로, 193-1690nm의 파장에서 측정이 가능합니다. Thin Film, Bulk materials, Dielectrics, Semiconductors, Polymers, Metals, Display, Bio, 태양광 등의 다양한 분야에서 사용됩니다.
RC2® Ellipsometer
비등방성 측정에 최적화된 Ellipsometer. Dual Rotating Compensator 기술이 적용된 Muller Matrix 16개 항을 모두 측정 할 수 있는 Ellipsometer 입니다. 전체파장(190-2500nm)에서 0.3초의 빠른 시간으로 두께 및 굴절률을 측정합니다.
V-VASE® Ellipsometer
Monochromator Type Ellipsometer. Rotating Analyzer 와 Auto-Retarder technology가 결합된 Variable Angle Spectroscopic Ellipsometer입니다. 193 ~ 3200nm 의 파장 대역에서 0.03nm의 spectral resolution을 가지고 있어 연구용으로 적합합니다.
VUV-VASE® Ellipsometer
Vacuum UV Ellipsometer 146 - 2500nm의 파장에서 측정 가능한 Ellipsometer 입니다. Lithography, ARC applications 에서 사용하는 157nm, 193nm, 248nm 파장 에서의 n, k 를 측정합니다.
IR-VASE® Mark II Ellipsometer
IR 전용 Ellipsometer 1.7 ~ 30 um 의 파장에서 Thin Film 과 Bulk Materials 에 대한 을 측정하는 Ellipsometer 입니다. 특히 Aerospace 및 Defense Application에서 사용됩니다.
alpha-SE® Ellipsometer
Compact Design Ellipsometer 초소형, 초간편 구성으로 380 ~ 900nm 파장에서 두께 및 굴절률 측정에 최적화된 Ellipsometer 입니다.
T-Solar™ Ellipsometer
SolarCell 전용 Ellipsometer Photovoltaic application 에 최적화된 Ellipsometer 입니다. Textured Mono, Multicrystalline Substarates 및 Organic PV Materials 등의 sample 측정이 가능합니다.
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iSE Ellipsometer
in-situ 전용 Ellipsometer in-situ박막 공정 실시간 모니터링에 최적화된 Ellipsometer이며, Thin Film(박막)의 두께 및 광학상수(굴절률, 흡수율 n,k)를 측정하는 장비 입니다.
theta-SE Ellipsometer
컴팩트형 300mm mapping Ellipsometer 컴팩트형 300mm mapping Ellipsometer이며, 300mm wafer의 Thin Film(박막)의 두께 및 광학상수(굴절률, 흡수율 n,k)를 측정하는 장비 입니다.
